Illuminationsystem相关论文
设计了一款便携式39°视场免散瞳眼底相机光学系统,可以对-10~+15m~(-1)屈光度变化范围内的人眼视网膜清晰成像。采用环形光源照明,......
提出了一种光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法。当照明光瞳的部分相干因子发生变化时,该方法的校正手指只需整体在光轴方向......
针对现有LED太阳模拟器同时解决准直性、辐照度均匀性、光谱匹配性三大技术指标的难度较高的问题, 基于光电一体化二次光学设计, ......
为实现太阳能量利用最大化,提出一种基于导光板型聚光器的自然光光纤采光系统。通过分光模块,将不可见光波段的能量转换成电能,进......
提出了应用于光刻机照明系统照明光场均匀性的高精度校正方法,该方法通过优化手指阵列式均匀性校正器中校正手指前端的形状及其排......
光刻机的照明光瞳性能对曝光图形质量和套刻精度均有重要影响。照明光瞳由光刻机照明系统产生,在光刻机长时间使用后,照明光瞳的性......
为了解决投影系统的畸变大、尺寸大和能量利用率低等问题,基于双高斯结构与自由曲面照明系统设计一个新型小畸变投影系统,主要针对自......